Михайлов Валерий Павлович

Кафедра МТ-11 (Электронные технологии в машиностроении) · МТ

профессор

Доктор технических наук, профессор. Закончил МВТУ им. Н.Э.Баумана в 1987 году по специальности «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение», квалификация - инженер-механик. В 1995 году защитил кандидатскую диссертацию «Исследование и разработка магнитореологического субмикронного привода литографических установок для повышения их производительности». В 2003 году защитил докторскую диссертацию на тему «Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа», доктор технических наук. С 2005 года работает в должности профессора на кафедре электронных технологий в машиностроении МГТУ им. Н.Э. Баумана. Является заместителем заведующего кафедрой по научной работе, ответственным за аспирантуру на кафедре. Читает лекции по дисциплинам «Физические основы электронных приборов» и «Физика вакуума». Ведет конструкторско-технологический практикум, дипломное проектирование студентов специальности, а также руководит подготовкой магистров и аспирантов. Опубликовал более 50 научных статей в журналах, является соавтором справочника «Вакуумная техника», двухтомной монографии «Механика и физика точных вакуумных механизмов», переизданной в 2010 г. издательством «Шпрингер», 5 учебно-методических работ, 7 патентов РФ и более 10 авторских свидетельств СССР. Является ученым секретарем диссертационного совета Д212.141.06 и членом диссертационного совета Д212.141.18 МГТУ им. Н.Э. Баумана Возглавляет на кафедре научно-техническое направление «Системы микро- и нанопозиционирования». Основные направления работ: - Разработка и создание систем микро- и нанопозиционирования; - Исследование точности механизмов; - Исследование физических эффектов, используемых при создании систем микро- и нанопозиционирования; - Исследование динамических процессов при позиционировании; - Создание перспективных систем активной виброизоляции.