Панфилов Юрий Васильевич

Кафедра МТ-11 (Электронные технологии в машиностроении) · МТ

профессор

Доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой. Окончил МВТУ им. Н.Э. Баумана в 1972 году. В 1980 году защитил кандидатскую, а в 1990 году – докторскую диссертацию. Ведет цикл учебных дисциплин по технологии и оборудованию микро и наноэлектроники. Область научных интересов: электронные, ионные и плазменные технологи, в т.ч. технология тонких пленок, нанотехнология и наноинженерия, вакуумное технологическое оборудование. Главный редактор научно-технического журнала «Упрочняющие технологии и покрытия», член редакционных советов журналов «Наноинженерия», «Нано и микросистемная техника», «Справочник. Инженерный журнал». За последние 15 лет опубликовал 11 монографий, 6 учебников и учебных пособий, 50 научных статей, 155 докладов на научно-технических конференциях, а также, 1 патент на изобретение и 2 отчета по НИР. Всего имеет более 350 публикаций, из них 20 изобретений. Увлекается спортом: постоянно участвует в российских и международных лыжных марафонах, имеет звание World Loppet Master.